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簡要描述:用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
產(chǎn)品介紹
用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級,安裝維護便捷高效
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?;烊?,幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設計
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